Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) -analysaattoria käytetään puolijohdeteollisuudessa. FTIR on spektrianalyysilaite, joka käyttää infrapunaspektroskopiaa epäpuhtauspitoisuuden analysoimiseen Fourier-muunnoksen avulla. Spektrometri koostuu pääasiassa valonlähteestä (piihiilisauva, korkeapaineelohopealamppu), Michelson-interferometristä, ilmaisimesta ja interferometristä
Infrapunavalonlähteen S lähettämä infrapunavalo kollimoituu rinnakkaiseksi infrapunasäteeksi ja menee häiriöjärjestelmään. Interferometrin säätämisen jälkeen saadaan häiriövalonsäde. Häiriövalo kulkee näytteen Sa läpi saadakseen spektritietoja sisältävän häiriösignaalin, joka saavuttaa ilmaisimen D ja muuntaa sen sitten sähköiseksi signaaliksi D:llä. Tässä häiriösignaali on aikafunktio, joka on häiriösignaalin piirtämä häiriökuvio. , ja sen vaaka-akseli on liikkuvan peilin liikeaika tai etäisyys. Tämä häiriökuvio lähetetään tietokoneeseen A/D-muuntimen kautta, ja tietokone suorittaa nopeita Fourier-muunnoslaskelmia saadakseen infrapunaspektrin, jonka vaaka-akseli on aaltoluku. Sitten se lähetetään piirturille D/A-muuntimen kautta hyvin tutun standardin infrapuna-absorptiospektrin piirtämistä varten.
